Среднечастотный источник питания для распыления серии MSB

Краткое описание:

Серия MSB использует превосходную технологию модуляции сигналов для вывода сигналов постоянного тока, импульсов постоянного тока, двунаправленных прямоугольных сигналов, двунаправленных трапециевидных сигналов и сигналов других форм.Изделие имеет регулируемую форму выходного сигнала, выбираемую выходную частоту, регулируемый рабочий цикл и точный контроль мощности.А также низкое накопление энергии и быстрая реакция дуги.Обеспечивают удобный и точный контроль процесса нанесения покрытия.Продукция в основном используется в различных процессах производства тонких пленок, производстве солнечных батарей и производстве вакуумных покрытий;процессы применения: процесс магнетронного распыления, распыление с двумя мишенями и трубчатое PECVD.

Информация о продукте

Теги продукта

Отправьте нам электронное письмо

Функции

Установка в стойку
Быстрая реакция дуги, время реакции <100 нс
Низкое накопление энергии, <0,5 мДж/кВт
Многофазная технология чередования PFC, коэффициент мощности достигает 0,95.
Можно выбрать различные режимы вывода, непрерывный и прерывистый режимы.
Схема инвертора использует технологию полного мягкого переключения и использует полупроводниковый карбид кремния третьего поколения в качестве силового устройства с превосходной эффективностью.
Точное обнаружение дуги, доступны несколько методов мониторинга