Импульсный источник питания СВЧ-это новый тип источника питания СВЧ, основанный на технологии высокочастотного инвертора IGBT.Он включает в себя анодный источник питания высокого напряжения, источник питания накаливания и источник питания магнитного поля (кроме источника микроволнового питания мощностью 3 кВт).Волновой магнетрон обеспечивает условия работы.Этот продукт используется в MPCVD, микроволновом плазменном травлении, микроволновом плазменном расклеивании и других областях.