Соответствующие устройства серии RMA
-
Соответствующие устройства серии RMA
Его можно адаптировать к ВЧ-источнику питания серии RLS и широко использовать при плазменном травлении, нанесении покрытий, плазменной очистке, плазменном рафинировании и других процессах. При использовании отдельно его можно использовать вместе с источниками радиочастотного питания других производителей.