Среднечастотный источник питания для распыления серии MSB

Краткое описание:

ВЧ-источники питания серии RHH основаны на проверенной технологии генерации ВЧ-сигналов, что позволяет клиентам получать ВЧ-источники питания с большей мощностью, более высокой точностью и быстрым откликом.С помощью фазы можно установить импульсное управление, цифровую настройку и другие функции.Применимые области: фотоэлектрическая промышленность, производство плоских дисплеев, полупроводниковая промышленность, химическая промышленность, лаборатории, научные исследования, производство и т. д.

Применимые процессы: плазменное химическое осаждение из паровой фазы (PECVD), плазменное травление, плазменная очистка, источник радиочастотных ионов, плазменная диффузия, плазменное полимеризационное распыление, реактивное распыление и т. д.

Информация о продукте

Теги продукта

Отправьте нам электронное письмо

Функции

● Стойки типа «полукирпич» и монтаж в стойку.

● Полностью цифровое управление с удобным и богатым меню управления.

● Настройка частоты, функции синхронизации импульсов и импульсов.

● С функцией фазовой синхронизации CEX.

● Идеальная функция защиты.

Информация о продукте

Вход	Входное напряжение: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (специальные характеристики могут быть настроены)
Вход	Входная частота: 47 ~ 63 Гц
Выход	Выходная частота: 13,56 МГц, 27,12 МГц, 40,68 МГц.
	Диапазон настройки: ±5%
	Выходная мощность: 1,5 ~ 5 кВт
	Диапазон регулирования выходной мощности: 1~100%
	Выходное сопротивление: 50 Ом+j0
	Выходной интерфейс: тип N
	Режим вывода: непрерывный, импульсный
	Частота импульса: 100 Гц ~ 100 кГц
	Рабочий цикл: 5~95%
Индекс производительности	Коэффициент мощности: 0,98
	Точность стабильности частоты: ±0,005%
	КПД: 75% (при номинальной мощности)
	Гармоника: ＜-45 дБн.
	Посторонний: ＜-50 дБн
	Внешний интерфейс управления: аналоговое количество, связь и синхронизация
	Режим связи: Стандартный интерфейс связи RS485;Дополнительный Ether CAT, промышленный Ethernet и т. д.
Примечание: продукт продолжает совершенствоваться, а его производительность продолжает улучшаться.Это описание параметра предназначено только для справки.