Радиочастотный источник питания
-
ВЧ источник питания серии RLS
Радиочастотный источник питания серии RLS использует стабильный и надежный усилитель мощности и базовую систему управления постоянным током компании, что обеспечивает очень стабильную производительность и высокую надежность продукта.Принять китайский и английский интерфейс дисплея, прост в эксплуатации.В основном используется в фотоэлектрической промышленности, производстве плоских дисплеев, полупроводниковой промышленности, химической промышленности, лабораториях, научных исследованиях, производстве и т. д.
-
Соответствующие устройства серии RMA
Его можно адаптировать к ВЧ-источнику питания серии RLS и широко использовать при плазменном травлении, нанесении покрытий, плазменной очистке, плазменном рафинировании и других процессах.При использовании отдельно его можно использовать вместе с источниками радиочастотного питания других производителей.
-
Радиочастотный источник питания серии RHH
ВЧ-источники питания серии RHH основаны на проверенной технологии генерации ВЧ-сигналов, что позволяет клиентам получать ВЧ-источники питания с большей мощностью, более высокой точностью и быстрым откликом.С помощью фазы можно установить импульсное управление, цифровую настройку и другие функции.Применимые области: фотоэлектрическая промышленность, производство плоских дисплеев, полупроводниковая промышленность, химическая промышленность, лаборатории, научные исследования, производство и т. д.
Применимые процессы: плазменное химическое осаждение из паровой фазы (PECVD), плазменное травление, плазменная очистка, источник радиочастотных ионов, плазменная диффузия, плазменное полимеризационное распыление, реактивное распыление и т. д.