Радиочастотный источник питания серии RHH
-
Радиочастотный источник питания серии RHH
ВЧ-источники питания серии RHH основаны на проверенной технологии генерации ВЧ-сигналов, что позволяет клиентам получать ВЧ-источники питания с большей мощностью, более высокой точностью и быстрым откликом.С помощью фазы можно установить импульсное управление, цифровую настройку и другие функции.Применимые области: фотоэлектрическая промышленность, производство плоских дисплеев, полупроводниковая промышленность, химическая промышленность, лаборатории, научные исследования, производство и т. д.
Применимые процессы: плазменное химическое осаждение из паровой фазы (PECVD), плазменное травление, плазменная очистка, источник радиочастотных ионов, плазменная диффузия, плазменное полимеризационное распыление, реактивное распыление и т. д.