Блок питания серии RHH RF

Источник питания RF серии RHH использует зрелую технологию генерации RF, чтобы предоставить клиентам источник питания RF с большей мощностью, более высокой точностью и быстрым откликом. С возможностью установки фазы, импульсным управлением, цифровой настройкой и другими функциями. Применимые области: фотоэлектрическая промышленность, производство плоских дисплеев, полупроводниковая промышленность, химическая промышленность, лаборатории, научные исследования, производство и т. д.
Применимые процессы: плазменно-химическое осаждение из паровой фазы (PECVD), плазменное травление, плазменная очистка, источник радиочастотных ионов, плазменная диффузия, плазменная полимеризация, реактивное распыление и т. д.