Соответствующие устройства серии RMA

Рекомендованное изображение матчеров серии RMA

Краткое описание:

Его можно адаптировать к ВЧ-источнику питания серии RLS и широко использовать при плазменном травлении, нанесении покрытий, плазменной очистке, плазменном рафинировании и других процессах.При использовании отдельно его можно использовать вместе с источниками радиочастотного питания других производителей.

Информация о продукте

Теги продукта

Отправьте нам электронное письмо

Функции

● Полностью цифровое управление, высокая точность согласования и короткое время согласования.

● Принять вакуумный конденсатор, высокую надежность и длительный срок службы.

● Компактная конструкция, небольшой размер, простота установки.

● Сверхширокий диапазон соответствия, можно настроить для любой нагрузки.

● С функцией ручного/автоматического сопоставления.

● С функцией удержания и предустановки.

● Благодаря функции связи его можно независимо подключить к главному компьютеру для отображения состояния нагрузки в режиме реального времени.

● Настраиваемый интерфейс вывода.

Информация о продукте

Технический индекс	Управляющее напряжение: AC220V±10%
	Мощность передачи: 0,5 ~ 5 кВт
	Частота: 2 МГц, 13,56 МГц, 27,12 МГц, 40,68 МГц
	Время сопоставления: от начала до конца < 5 с, от заданной точки до точки сопоставления < 0,5 ~ 3 с.
	Стоячая волна: <1,2
	Реальная часть импеданса: 5 ~ 200 Ом
	Мнимая часть импеданса: +200~-200Дж
	Выходное напряжение RF: 4000 Впик.
	Выходной ток РЧ: 25 ~ 40 Arms
	Входной интерфейс: тип N
	Выходной интерфейс: медная шина или L29
Примечание. Продукт продолжает совершенствоваться, а его производительность продолжает улучшаться.Это описание параметра предназначено только для справки.