Матчеры серии RMA

Краткое описание:

Его можно адаптировать к источнику питания RF серии RLS, и он широко используется в процессах плазменного травления, нанесения покрытий, плазменной очистки, плазменной дегуммации и других процессах. При использовании отдельно его можно использовать вместе с источниками питания RF других производителей.

Подробности продукта

Теги продукта

Напишите нам письмо

Функции

● Полностью цифровое управление, высокая точность сопоставления и короткое время сопоставления

● Применяется вакуумный конденсатор, высокая надежность и длительный срок службы.

● Компактная конструкция, небольшой размер, простота установки

● Сверхширокий диапазон соответствия, можно настроить под любую нагрузку

● С функцией ручного/автоматического сопоставления

● С функцией удержания и предварительной установки

● Благодаря функции связи его можно независимо подключить к главному компьютеру для отображения состояния нагрузки в режиме реального времени.

● Настраиваемый выходной интерфейс

Подробности продукта

Технический индекс	Управляющее напряжение: AC220V±10%
	Мощность передачи: 0,5~5 кВт
	Частота: 2 МГц、13,56 МГц、27,12 МГц、40,68 МГц
	Время сопоставления: от конца до конца < 5 с, от заданной точки до точки сопоставления < 0,5 ~ 3 с
	Стоячая волна: ＜1.2
	Действительная часть импеданса: 5~200 Ом
	Мнимая часть импеданса: +200~-200 Дж
	Выходное напряжение ВЧ: 4000 Впик
	Выходной ток ВЧ: 25~40 А
	Входной интерфейс: тип N
	Выходной интерфейс: медная шина или L29
Примечание: продукт продолжает совершенствоваться, а его производительность продолжает улучшаться. Это описание параметра носит исключительно справочный характер.