Источник питания для распыления
-
Среднечастотный источник питания для распыления серии MSB
ВЧ-источники питания серии RHH основаны на проверенной технологии генерации ВЧ-сигналов, что позволяет клиентам получать ВЧ-источники питания с большей мощностью, более высокой точностью и быстрым откликом.С помощью фазы можно установить импульсное управление, цифровую настройку и другие функции.Применимые области: фотоэлектрическая промышленность, производство плоских дисплеев, полупроводниковая промышленность, химическая промышленность, лаборатории, научные исследования, производство и т. д.
Применимые процессы: плазменное химическое осаждение из паровой фазы (PECVD), плазменное травление, плазменная очистка, источник радиочастотных ионов, плазменная диффузия, плазменное полимеризационное распыление, реактивное распыление и т. д.
-
Источник питания для распыления серии MSD
Источник питания для распыления постоянным током серии MSD использует базовую систему управления постоянным током компании в сочетании с превосходной схемой дуговой обработки, что обеспечивает очень стабильную производительность, высокую надежность продукта, небольшое повреждение дуги и хорошую повторяемость процесса.Принять китайский и английский интерфейс дисплея, прост в эксплуатации.